Особенности АСМ-исследований тонких пленок MoS2, формируемых распылением катодной мишени в вакууме

Ключевые слова:

Аннотация

Представлены результаты АСМ-исследований тонких пленок дисульфида молибдена, полученных методом магнетронного распыления мишени в вакууме на подложках кремния, а также авторская методика оценки структурных особенностей и планарности пленок анизотропной структуры.

Keywords:

Abstract

The AFM study results of MoS2 thin films deposited by magnetron sputtering in vacuum process on the silicon substrates and structure analysis with new methods for thin films with anisotropic structure planarity estimation are presented.