Модульная вакуумно-термическая установка

Ключевые слова:

Аннотация

Описаны конструктивные особенности модульной вакуумно-термической установки, созданной в рамках сотрудничества кафедры МТ-11 МГТУ им. Н.Э. Баумана и НПО «Спецэлектромеханика» (г. Брянск). Рассмотрены процессы формирования структур и покрытий, которые могут быть получены в установках такого типа при разных рабочих температурах с использованием различных смесей исходных газов.

Keywords:

Abstract

The article describes the design features of the modular vacuum thermal equipment, created in the cooperation of the MT-11 Department of Bauman Moscow State Technical University and the company "Spetselektromekhanika" (Bryansk). The processes of formation of structures and coatings that can be obtained in this type of equipment at different operating temperatures using different mixtures of initial gases are considered.