Системы питания ВЧ-напряжением для вакуумно-технологического оборудования

Ключевые слова:

Аннотация

Предприятие ООО «ПЛАЗМА-ТЕХ» разработало и освоило выпуск с 2017 года двух систем питания ВЧ-напряжением.
Первая система, работающая на фиксированной частоте 13,56 МГц, состоит из ВЧ-генератора с активной выходной мощностью 600 Вт или 1000 Вт, автоматического согласующего устройства и соединительных кабелей. Варианты исполнения согласующего устройства позволяют работать системе на емкостной ВЧ-разряд, на ВЧ-магнетрон распыления и на индукционный ВЧ-разряд.
Вторая система, работающая в диапазоне частот 0,8 ÷ 2 МГц с автоподстройкой частоты на резонанс в нагрузочном ВЧ-индукторе, состоит из AC/DC-блока питания и управления, ВЧ-инвертора с активной выходной мощностью до 3 кВт и соединительных кабелей. Система ориентирована на питание ГРК ВЧ-источников ионов с индукционным разрядом.

Keywords:

Abstract

The company PLAZMA-TECH LLC has developed and mastered the production of two high-voltage power supply systems since 2017. The first system, operating at a fixed frequency of 13.56 MHz, consists of an RF generator with an active output power of 600 W or 1000 W, an automatic matching device and connecting cables. The variants of the matching device allow the system to operate on a capacitive HF discharge, on an RF magnetron sputtering and on an induction HF discharge.