Установка обработки плазмой низкого давления MPCOne

Ключевые слова:

Аннотация

В работе представлен обзор современных установок для обработки плазмой низкого давления. Обозначена проблема отсутствия установок отечественного производства. Приведено описание и преимущества разработанной отечественной установки MPCOne. Продемонстрированы результаты отработки ее технологических возможностей.

Keywords:

Abstract

The paper presents an overview of modern low-pressure plasma processing systems. The problem of the absence of domestic production facilities is indicated. The description and advantages of the developed domestic system MPCOne are given. The results of its technological capabilities testing are demonstrated.