Установка вакуумного нанесения тонких пленок для исследования на АСМ

Ключевые слова:

Аннотация

Одной из наиболее распространенных разновидностей сканирующей зондовой микроскопии является атомно-силовая микроскопия. Современная атомно-силовая микроскопия активно используется во всем мире для исследования как полупроводников, так и любых других материалов. С ее помощью можно досконально изучить структуру покрытия, его толщину.
Подготовка образцов для дальнейшего исследования на АСМ является важным этапом при производстве изделий наноинженерии. Подготовка образцов на промышленных установках требует большого количества временных затрат. Данная проблема отсутствует при получении образцов в данной установке.

Keywords:

Abstract

One of the most common types of scanning probe microscopy is atomic force microscopy. Modern atomic force microscopy is widely used all over the world for the study of semiconductors and any other materials. It can be used to thoroughly study the structure of the coating, its thickness. Preparation of samples for further research on AFM is an important step in the production of nanoengineering products. Preparation of samples at industrial plants requires a large amount of time. This problem does not occur when samples are obtained on this installation.