Исследование эффективности кластерного оборудования с использованием имитационных моделей

Ключевые слова:

Аннотация

Технологии наноэлектронного производства сегодня используют многокластерное оборудование, в котором реализуется замкнутый технологический цикл без выгрузки изделий в атмосферную среду рабочего помещения, что позволяет проводить высокоточные многоступенчатые технологические обработки при обеспечении автоматического контроля техпроцессов, межоперационных испытаний и оперативного структурного анализа. При этом технологическая линия может быть многосвязанной – состоять из нескольких кластерных систем с возможностью трансляции полуфабрикатов между кластерами через модули передачи, переворота и складирования.
Для создания такого сложного единого комплекса технологического оборудования требуется решение задач, связанных с эффективным взаимодействием технологических модулей между собой с целью обеспечения необходимых качественных характеристик технологического процесса, что в свою очередь обуславливает необходимость разработки методов планирования и оптимизации структурно-компоновочных решений и графика запуска полуфабрикатов. Поэтому актуальным является разработка математических методов и моделей, которые ориентированы на анализ новых схем организации и управления автоматизированным производством в полупроводниковом производстве.

Keywords:

Abstract

Modern technologies of nanoelectronic manufacturing now use multicluster equipment, in which a closed technological cycle is implemented without unloading products into the atmospheric environment of the clean room, which allows high-precision multistage technological processing with automatic control, inter-operational tests and operational structural analysis. In this case, the technological line can be multiply connected - it consists of several cluster systems with the ability to translate semifinished products between clusters via transmission, coup and storage modules. To create such a complex, it is necessary to solve problems associated with the effective interaction of technological modules with each other in order to ensure the necessary qualitative characteristics of the technological process, which in turn necessitates the development of methods for planning and optimizing the structural and layout solutions and the schedule for semi-finished products. Therefore, it is important to develop mathematical methods and models that are oriented on the analysis of new schemes for organizing and managing automated production in semiconductor production.