Перспективные вакуумно-плазменные процессы и экспериментальное оборудование

Ключевые слова:

Аннотация

Рассмотрены актуальные вакуумно-плазменные процессы и экспериментальное оборудование: атомно-слоевое осаждение, плазмохимическое травление, формирование мелкощелевой изоляции и очистка поверхности пластин.

Keywords:

Abstract

Current vacuum-plasma processes and experimental equipment are considered: atomic-layer deposition, plasma-chemical etching, fine-gap insulation formation and surface cleaning of plates.