Современный прецизионный манометр низких абсолютных давлений с расширенным диапазоном измерений
Горобей В.Н., Израилов Е.К.
Ключевые слова:
Аннотация
В докладе обсуждается возможность расширения диапазона измерений современного прецизионного мембранно-емкостного манометра с электростатической компенсацией (МЕПК) низких абсолютных давлений на установке, основанной на применении метода редукции давления.Modern precision manometer of low absolute pressures with extended measuring range.
V.N. Gorobey, E.K. Izrailov
Keywords:
