Современный прецизионный манометр низких абсолютных давлений с расширенным диапазоном измерений

Ключевые слова:

Аннотация

В докладе обсуждается возможность расширения диапазона измерений современного прецизионного мембранно-емкостного манометра с электростатической компенсацией (МЕПК) низких абсолютных давлений на установке, основанной на применении метода редукции давления.

Keywords:

Abstract

This report presents discussion of possibility to expand measuring range of precision membrane-capacitive electro-statically compensated manometer using installation based on the pressure reduction method.