Применение встроенного магнитного электроразрядного насоса в процессе откачки ЭВП

Ключевые слова:

Аннотация

В работе рассмотрены некоторые проблемы, которые возникают в процессе откачки и обезгаживания ЭВП на откачном посту. Показаны способы контроля процесса откачки, возможности применения магнитного электроразрядного насоса (МЭН) в качестве средства откачки и преобразователя давления, определения давления, соответствующего молекулярному течению газа в ЭВП на любом этапе откачки, оптимизации некоторых процессов откачки, измерения проводимости вакуумной системы откачного поста.

Keywords:

Abstract

The paper considers some problems that arise in the process of evacuation and degassing of the EVD on the pumping station. The methods to monitor the pumping process, the possibility of using a magnetic electric discharge pump (MEP) as a pumping means and a pressure transducer, determining the pressure corresponding to the molecular flow of gas in the EVD at any stage of evacuation are shown, as well as optimizing some pumping processes, measuring conductivity of the vacuum system of the pumping station.