Применение метода магнетронного нанесения для металлизации LTCC-керамики

Ключевые слова:

Аннотация

В работе представлены результаты исследования возможности применения методов тонкопленочных технологий для формирования токопроводящих дорожек на многослойных коммутационных платах, изготавливаемых на основе низкотемпературной керамики.

Keywords:

Abstract

The paper presents the results of a study of the feasibility of using thin-film technology to form conductive tracks on multi-layer commutation boards manufactured on the basis of low-temperature ceramics.