Новые технологии в зарубежной вакуумной технике
Степашков Д.М. , Феофанов В.С., Алексеенок Т.А.
Ключевые слова:
Аннотация
Статья посвящена обзору новых и усовершенствованных вакуумных технологий, касающихся созданиявакуума и герметичности вакуумных систем. Особое внимание уделяется оборудованию для создания высокого и сверхвысокого вакуума.Представлены последние разработки европейских заводов-изготовителей: Agilent Technologies (бывши й Varian), Vacuubrand, EVAС.
New technologies in foreign vacuum equipment.
D.M. Stepashkov, V.S. Feofanov, T.A.Alekseenok
Keywords: