Получение металлических пленок различной структуры на установке УВН-1М
Панфилов Ю.В., Сидорова С.В., Пронин М. А.
Ключевые слова:
Аннотация
Рассмотрены и проанализированы варианты конструкции рабочей вакуумной камеры для лабораторной малогабаритной установки. Проведен обзор получения тонкопленочных покрытий разной структуры и различными методами вакуумного нанесения. Приведены рекомендации по выбору режимов формирования тонкопленочных покрытий различной структуры.Obtaining of metal films of different structures on the UNV-1M set-up.
Panfilov U.V., Sidorova S.V., M. A. Pronin
Keywords:
