Получение металлических пленок различной структуры на установке УВН-1М

Ключевые слова:

Аннотация

Рассмотрены и проанализированы варианты конструкции рабочей вакуумной камеры для лабораторной малогабаритной установки. Проведен обзор получения тонкопленочных покрытий разной структуры и различными методами вакуумного нанесения. Приведены рекомендации по выбору режимов формирования тонкопленочных покрытий различной структуры.

Keywords:

Abstract

The vacuum chambers design options for laboratory equipment are viewed and analyzed. A review of thin-film coatings of different structures and different methods of vacuum application is presented. Recommendations for choosing modes of thin-film coatings formation of various structures are given.