Получение тонких пленок TiN и nACo® на кремнии и исследование их свойств

Ключевые слова:

Аннотация

Статья кратко описывает методы получения покрытий TiN и nACo® и оборудование, позволяющее получить данные покрытия дуговым методом осаждения пленок. Проведены эксперименты по нанесению этих покрытий, измерены значения твердости и толщины пленок для каждого образца и сделаны выводы о влиянии толщины покрытия на твердость.

Keywords:

Abstract

The article briefly describes methods of forming TiN and nACo® coatings and equipment that allows one to obtain this coating by arc deposition of films. Experiments to obtain these coatings were carried out, the values of hardness and film thickness for each sample were measured and conclusions were drawn about the effect of the thin film thickness on hardness.