Магнетронное нанесение тонких пленок MoS2 для электроники
Беликов А.И., Чжо Зин Пьо, Калинин В.Н., Карпухин С.Д., Самарцев А.С.
Ключевые слова:
Аннотация
Представлены результаты работ по нанесению тонких пленок дисульфида молибдена методом магнетронного распыления мишени и экспериментальные исследования структурных особенностей пленок, полученных на подложках из кремния и ситалла.Magnetron sputtering of thin films MoS2 for electronics.
, , V.N.Kalinin, S.D.Karpukhin, A.S.Samartsev
Keywords:
