Исследование жидкофазного магнетрона с двумя областями плазмы

Ключевые слова:

Аннотация

В статье представлен процесс моделирования и сборки магнетрона с двумя областями плазмы с целью повышения магнитной индукции на поверхности мишени в процессе жидкофазного магнетронного распыления. Представлены варианты конструкций и собраны магнитные системы с двумя зонами распыления. Проанализирована причина отсутствия центральной плазмы при запуске и представлены способы устранения этой проблемы.

Keywords:

Abstract

The article briefly describes modelling and assembling magnetron with two plasma fields to increase magnetic induction at the magnetron surface during magnetron sputtering with liquid-phase target process. The construction variants are presented and magnet systems with two sputtering fields are assembled. The reason of central plasma field absence during launching is analyzed and methods to solve this problem by launching are presented.