Анализ погрешности поддержания положения трехкоординатной платформы для активной виброизоляции на основе магнитореологических эластомеров.

Ключевые слова:

Аннотация

Одним из наиболее эффективных методов вибрационной защиты является активная виброизоляция. Широко известно, что производство изделий нанотехнологий невозможно без защиты технологического и исследовательского оборудования, работающего в условиях вакуума и атмосферного давления, от вибрационных возмущающих воздействий.
Системы виброизоляции на основе магнитореологических (МР) эластомеров обладают большей эффективностью виброизоляции по сравнению с другими существующими системами за счет совмещения полуактивной и активной виброизоляции в одном устройстве. Однако открытым остается вопрос о повторяемости свойств разных МР эластомеров.
В работе проанализированы погрешности перемещений актуаторов на основе МР эластомеров виброизолирующей платформы, возникающие за счет различия свойств МР эластомеров разных актуаторов.

Keywords:

Abstract

One of the most effective methods of vibration protection is active vibration control. It is widely known that the nanotechnology manufacturing is impossible without the protection of equipment from vibration disturbance. The precise technological and research equipment can operate under atmospheric pressure and under vacuum. Vibration control systems based on magneto-rheological (MR) elastomers have a higher protection efficiency than other existing systems due to the combination of semi-active and active vibration isolation in one device. However, the task of the repeatability of the properties of different MR elastomers devices remains unsolved. Here some positioning errors of the vibration isolation platform actuators based on the MR elastomers are analyzed which arise due to the difference in the properties of MP elastomers of different actuators.