Диагностика отказов вакуумных механизмов.

Ключевые слова:

Аннотация

Целью системы диагностики отказов вакуумных механизмов является оценка состояния механизма и прогнозирование времени отказа. Параметрами, которые могут быть использованы для диагностики, являются: частота колебаний механизма, амплитуда вибрации,  колебания остаточного давления.

Keywords:

Abstract

The aim of the vacuum mechanisms fatigue prediction system is estimation of the mechanism state and its failure moment prediction. The parameters that may be used for diagnosis are: mechanism vibration frequency, vibration amplitude, residual pressure variation.