Источники погрешностей при измерениях степени негерметичности на установке УФКГ.

Бушин С.А., Галкин С.С.
Ключевые слова:

Аннотация

В работе представлены результаты экспериментальных работ по выявлению  источников погрешностей, связанных, в частности с эффектом памяти по рабочему (пробному) газу на поверхностях элементов вакуумной системы, влияющих на точностные показатели оценки степени негерметичности у миниатюрных разрядников.

Sources of errors in measurements of the leakage degree at the installation of the final tightness check.

Bushin S.А., S.S. Galkin
Keywords:

Abstract

The paper presents the results of experimental work to identify sources of errors associated with the effect of memory for working (test) gas on the surfaces of the vacuum system elements, affecting the accuracy of the evaluation of the leakаge degree in miniature arresters.