Источники погрешностей при измерениях степени негерметичности на установке УФКГ.
Бушин С.А., Галкин С.С.
Ключевые слова:
Аннотация
В работе представлены результаты экспериментальных работ по выявлению источников погрешностей, связанных, в частности с эффектом памяти по рабочему (пробному) газу на поверхностях элементов вакуумной системы, влияющих на точностные показатели оценки степени негерметичности у миниатюрных разрядников.Sources of errors in measurements of the leakage degree at the installation of the final tightness check.
Bushin S.А., S.S. Galkin
Keywords: