Технологии минимизации десорбционных процессов в производстве ЭВП

Ключевые слова: ДЕСОРБЦИЯ, АДСОРБЦИЯ, ДИФФУЗИЯ, МЕТАЛЛОСПЛАВНЫЕ КАТОДЫ, ЭЛЕКТРОВАКУУМНЫЕ ПРИБОРЫ, ТЕХНОЛОГИИ ПРОИЗВОДСТВА, КАТОДЫ ПЛАТИНОВОЙ ГРУППЫ

Аннотация

С появлением современных вызовов производство ЭВП получает все более жесткие требования к эксплуатационным характеристикам своих приборов. За счет вводимых специфических условий эксплуатации ЭВП влияние десорбционных процессов с каждым годом усугубляется. Ранее уже было показано, что появление десорбции газа может способствовать возникновению пробоев после достижения критической величины напряженности электрического поля. Эта критическая напряженность обусловлена в первую очередь конфигурацией электродов, комбинацией используемых в приборе материалов, имеющейся их шероховатости, а также общей степени обезгаживания ЭВП. Поэтому для обеспечения долговечности и стабильности эмиссии при выборе материалов внутренней арматуры основное внимание уделяется именно способности материалов быстро удалять газы, а технологии обработки подбираются в зависимости от требований к ЭВП при длительной эксплуатации. Так, с практической точки зрения наибольшую распространенность получили металлосплавные катоды в двух вариантах: IrРЗМ (где РЗМ – редкоземельные металлы) и PtBa. Однако при длительной эксплуатации катоды IrLa и IrCe, являясь монослойными, где лантан и церий формируют структуру для эмиссии на поверхности иридия, оказываются малотехнологичными. Вторым примером сплавного катода является сплав PtBa, выступающий в качестве вторичного источника электронов. Аналогичные свойства имеет прессованный металлосплавный катод Pd5Ba. Разработанная для них циклическая водородно-вакуумная термообработка позволяет достигнуть практически полного удаления адсорбентов углерода и кислорода.

Keywords: DESORPTION, ADSORPTION, DIFFUSION, METAL ALLOY CATHODES, ELECTROVACUUM DEVICES, PRODUCTION TECHNOLOGIES, PLATINUM GROUP CATHODES

Abstract