Разработка технологической оснастки для кварцевого микровзешивания IN SITU
Моисеев К.М., Хыдырова С., Гусейнов Б. Р. , Романов С. С., Мавлявиев Т. И., Фетисов И. С.
Ключевые слова: МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ, ТОНКИЕ ПЛЕНКИ, КВАРЦЕВОЕ МИКРОВЗЕШИВАНИЕ, КВАРЦЕВЫЙ РЕЗОНАТОР
Аннотация
Формирование двухкомпонентных ультратонких плёнок для сверхпроводниковых однофотонных детекторов требует контроля как толщины, так и соотношения компонентов в плёнке с высокой точностью. При формировании двухкомпонентных плёнок совместным магнетронным распылением из двух источников измерение массовой скорости осаждения позволяет обеспечивать требуемое атомное соотношение компонентов в плёнке, в связи с чем при отработке технологии целесообразно использовать кварцевое микровзвешивание.В данной работе для контроля массы сформированной плёнки in situ предлагается использование стандартных кварцевых резонаторов для выводного монтажа. Для ввода сигнала в вакуумную камеру используется стандартный промышленный герметичный высокочастотный разъём СРГ50-166ФВ. Спроектирована технологическая оснастка с корпусом для кварцевого резонатора, обеспечивающая его быстрое закрепление и замену, а также размещение непосредственно на подложкодержателе.
Development of technological equipment for quartz micro-weighing
Moiseev K.M., S.Hydyrova, Guseynov B. R, S.S. Romanov, T.I. Mavliaviev, I.S. Fetisov
Keywords: MAGNETRON SPUTTERING, THIN FILMS, QUARTZ MICRO-WEIGHING, QUARTZ RESONATOR
