Выбор компоновоки вакуумного оборудования магнетронного нанесения покрытий на детали сложной формы на основе моделирования
Беликов А.И.
Ключевые слова: ВАРИАНТЫ КОМПОНОВКИ, ВЫБОР КОМПОНОВКИ, МАГНЕТРОННОЕ НАНЕСЕНИЕ, ПОКРЫТИЕ, ВАКУУМНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ, КОМПЬЮТЕРНОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ
Аннотация
Расширение спектра изделий, на которые нужно осаждать покрытия магнетронным методом, усложнение форм деталей, на поверхностях которых покрытие должно соответствовать требованиям по высокой равномерности, приводят к необходимости разработки компоновок технологических систем оборудования нанесения тонких пленок.Среди множества факторов, влияющих на выбор оптимального структурно-компоновочного варианта реализации технологической системы оборудования магнетронного нанесения, можно отметить следующие:
1. Определяющие качество формируемых покрытий: требуемые функциональные свойства и толщина, равномерность её распределения по поверхности изделия.
2. Влияющие на производительность оборудования: длительность технологического цикла и количество одновременно обрабатываемых изделий.
3. Лимитирующие возможности реализации технологического процесса: ограничения на режимы проведения процессов нанесения, геометрия и размерные ограничения технологических источников.
Цифровые решения на основе методов дискретного моделирования предоставляют возможности для реализации итерационных подходов при разработке и выборе оптимальной компоновки с учетом множества критериев. Применение компьютерного моделирования техпроцесса для предварительного, быстрого просчета геометрических компоновок технологической системы, позволяет существенно снизить временные затраты на проработку возможных решений, повысить эффективность и качество выбора наилучшего варианта компоновки оборудования магнетронного нанесения покрытий.
В работе представлена методика, обеспечивающая выбор оптимального структурно-компоновочного варианта технологической системы магнетронного нанесения покрытий на крупноразмерные детали сложной формы на основе результатов моделирования с использованием авторской программы «TFDepositionR».
The magnetron deposition on a complex shape parts vacuum equipment layout selection based on modeling
Keywords: COMPUTER SIMULATION, MAGNETRON SPUTTERING, COATING, LAYOUT SELECTION
