Инверсно-магнетронный вакуумметр Sensor One

Ключевые слова: ВАКУУММЕТР, ВЫСОКОВАКУУМНЫЙ, ДАТЧИК, ФЛАНЦЫ

Аннотация

Вакуумметр Sensor One представляет собой инверсно-магнетронный преобразователь и контроллер, объединенные в один компактный прибор. Вакуумметр измеряет давление косвенно, как функция тока, протекающего в таунсендовском разряде в измерительной трубке.
В докладе подробно рассматриваются принципы работы этого устройства, включая его конструктивные особенности и рабочие параметры, описаны основные преимущества  вакуумметра, такие как высокая чувствительность и широкий диапазон измерений. Также акцентируется внимание на области применения устройства, включая научные исследования, промышленность и технологические процессы, требующие точного контроля вакуума.
Вакуумметры выпускаются в нескольких исполнениях с фланцами CF40, KF40, KF25 и клин-канавка.
Диапазон измерения вакуумметра от 1∙10-3 до 5∙10-9 Торр (относительная погрешность ±15%).
Магнитная индукция в центре зазора магнитной системы (катода) 120мТл.
Номинальное напряжение питания вакуумметра Sensor One составляет 15 В постоянного тока.
Вывод значений давления происходит на графический дисплей или через интерфейс RS-485, при этом вакуумметр поддерживает работу по протоколу Modbus RTU.

Keywords: VACUUM GAUGE, HIGH VACUUM, SENSOR, FLANGES

Abstract