Интегрирование островковых тонких пленок в датчики полей и сред
Сидорова С.В., Кирьянов С.В. , Щербак Е. С., Наумаова А. М.
Ключевые слова: ДАТЧИКИ МАГНИТНЫХ ПОЛЕЙ, МАГНИТОРЕЗИСТИВНОСТЬ, ГАЗОЧУВСТВИТЕЛЬНЫЕ СЕНСОРЫ, ОСТРОВКОВАЯ ТОНКАЯ ПЛЕНКА
Аннотация
В рамках современных технологических требований, постоянно возрастающего развития электронной промышленности, существует неотложная потребность в усовершенствовании функциональных характеристик устройств при одновременном снижении их размеров. В этом контексте значительное внимание уделяется исследованию несплошных металлических покрытий, особенно на этапе формирования островковых наноструктур, так как они обладают уникальными свойствами проводимости. В качестве одних из перспективных материалов для создания таких функциональных тонких слоев выделяются Co, Ni и Al благодаря своим свойствам в области электропроводности, оптики и магнетизма.Целью работы является отработка режимов вакуумного формирования островковых тонких пленок (ОТП) Ni, Co и Al для дальнейшего внедрения в структуру датчиков полей и сред.
Нанесение островковых тонких пленок металлов осуществлялось методом термического испарения с контролем туннельного тока на лабораторном стенде, организованном на базе установки для формирования покрытий в вакууме МВТУ-11-1МС (МГТУ им. Н.Э. Баумана).
После отработки режимов формирования ОТП Ni, Co и Al планируется создание спин-туннельного магниторезистивного датчика на базе многослойной ОТП из чередующихся островковых слоев Ni и Co и газочувствительного сенсора, где в качестве чувствительного элемента будет выступать ОТП Al.
Island thin films integration in field and environment sensors
Sidorova S.V., S.V. Kiryanov, E.S. Scherbak, A.M. Naumova
Keywords: MAGNETIC FIELD SENSORS, MAGNETORESISTANCE, GAS-SENSITIVE SENSORS, INSULAR THIN FILM
