Формирование пленок металлов и их соединений вакуумными способами
Шашин Д.Е., Сушенцов Н.И.
Ключевые слова: МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ, ДУГОВОЕ ИСПАРЕНИЕ
Аннотация
Данная работа посвящена получению тонких пленок AlNi методом магнетронного распыления и особенностям, возникающим в ходе этого процесса. Описано оборудование, в том числе программное обеспечение для получения многослойных структур. Рассмотрены результаты проведенных экспериментов и разработанный технологический процесс.Formation of films of metals and their compounds by vacuum methods
D.E. Shashin, N.I.Sushentsov
Keywords: MAGNETRON SPUTTERING, ARC EVAPORATION
