Исследование газовыделения катодных мишеней для магнетронного распыления дисульфида молибдена
Беликов А.И., Ван Синьсинь , Хлобыстин Н. А., Илларионов А. И.
Ключевые слова: ГАЗОВЫДЕЛЕНИЕ, МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ, КАТОДНАЯ МИШЕНЬ, ДИСУЛЬФИД МОЛИБДЕНА
Аннотация
Высокое качество проводимых в условиях вакуума технологических процессов обеспечивается регламентированным составом остаточной газовой среды. Наличие в газовой среде нежелательных компонентов, которые изменяют химический и фазовый состав осаждаемых в вакууме покрытий, неизбежно приводит к ухудшению функциональных характеристик последних. Широкое распространение получили покрытия, формируемые магнетронным распылением катодных мишеней дисульфида молибдена (MoS2). Такие мишени изготавливают прессованием порошков MoS2, что определяет их относительно высокую остаточную пористость. Высокая сорбционная емкость таких мишеней и значительный поток газовыделения увеличивают время откачки технологической камеры и снижают качество покрытий.В работе представлены методика, экспериментальная техника и результаты исследования газовыделения распыляемых мишеней, изготовленных путем холодного прессования из порошков дисульфида молибдена. Изучена динамика газовыделения из мишеней в процессе их обезгаживания при длительном нахождении в вакууме.
Gas emission investigation of the molybdenum disulfide cathode targets for magnetron sputtering processes
, X. Wang, N.A. Khlobystin, A.I. Illarionov
Keywords: GAS EMISSION, MAGNETRON SPUTTERING, CATHODE TARGET, MOLYBDENUM DISULFIDE
