Влияние отжига на фотокаталитическую активность тонких плёнок диоксида титана
Шашин Д.Е., Романов А. Л. , Дьячков А. Д.
Ключевые слова: ТОНКАЯ ПЛЁНКА, ДИОКСИД ТИТАНА, МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ, ФОТОКАТАЛИЗ
Аннотация
В настоящее время в области приборостроения большое внимание уделяется технологиям формирования плёнок оксидов металлов с целью создания материалов для производства новых поколений элементов информационно-измерительных приборов (УФ-приёмники, датчики концентрации газов и др.). Большинство из этих приме нений базируется на фотовозбуждаемых процессах. В этой области из плёнок оксидов металлов наибольший интерес вызывают плёнки оксида титана. TiO2 из-за его высоких фотокаталитических свойств применяют для разложения органически сложных соединений, наиболее оптимальным способом получения, которых является магнетронное распыление. На эффективность фотокатализа тонких плёнок влияет совершенство их кристаллической структуры, которое можно попытаться достичь методом отжига. Поэтому в качестве цели проведения исследований имеет смысл проверка влияния данного метода на оптические и фотокаталитические свойства.Целью работы является повышение качества свойств плёнок TiO2 путём проведения отжига образцов после их формирования с помощью реактивного магнетронного распыления. Для достижения этого были получены образцы пленки TiO2 методом реактивного магнетронного распыления при различных условиях формирования, а так же проведено исследование фотокаталитических и оптических свойств плёнок.
Influence of annealing on the photocatalytic activity of titanium dioxide thin films
D.E. Shashin, A.L. Romanov, A.D. Dyachkov
Keywords: THIN FILM, TITANIUM DIOXIDE, MAGNETRON SPUTTERING, PHOTOCATALYSIS
