Анализ молекулярных загрязнений при высоковакуумной откачке оборудования, работающих при низких температурах
Колесник Л.Л., Мьо Чжо Хлаинг, Аунг Лин Хтай , Вей Мо Линн
Ключевые слова: МОЛЕКУЛЯРНОЕ ЗАГРЯЗНЕНИЕ, ВЫСОКОВАКУУМНАЯ ОТКАЧКА, ВОЗДУХ, ЧИСТОЕ ПОМЕЩЕНИЕ
Аннотация
В настоящее время большая часть примесей, оседающих на поверхности в чистых помещениях, образуется за счет газообразных веществ. Технологическое оборудование чистых помещений обычно создается с целью защиты персонала или производственного процесса от загрязняющих воздух частиц. Это явление получило название «молекулярное загрязнение воздуха», которое контролировать трудно. Для микроструктур с размерами порядка 1 мкм твердые или жидкие мелкодисперсные частицы являются основными причинами брака из-за привносимой дефектности. Молекулярные загрязнения проявляются в виде продуктов распада полимерных конструкционных материалов и органических соединений, продуктов заготовлений резиновых смесей. Для наноструктур молекулярные загрязнения становятся критичными. Молекулярное загрязнение воздуха играет важную роль не только в микроэлектронике, но и других отраслях, использующих чистые помещения.В статье представлены результаты литературного обзора по материалам публикаций, посвященных анализе молекулярных загрязнений при высоковакуумной откачке оборудования. Рассмотрены анализы молекулярных загрязнений на уровне оборудования и готовой продукции.
Ф
Analysis of molecular contaminants during high-vacuum pumping of equipment operating at low temperatures
Kolesnik L.L., Myo Kyaw Hlaing, Aung Lin Htay, Wai Moe Linn
Keywords: MOLECULAR POLLUTION, HIGH VACUUM PUMPING, AIR, CLEAN ROOM
