Шероховатость тонких пленок алюминия, сформированных методом магнетронного распыления
Шашин Д.Е., Пименов Г. А.
Ключевые слова: МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ, ТОНКИЕ ПЛЕНКИ АЛЮМИНИЯ, ШЕРОХОВАТОСТЬ
Аннотация
В настоящее время металлические тонкие пленки широко применяются в различных областях электроники. Тонкие пленки используются в качестве функциональных покрытий и проводящих слоев в разных сферах, например, машиностроении, медицине, цифровой микроэлектронике. На данном этапе развития технологий получения металлических тонких пленок интенсивно развивается метод магнетронного распыления, обеспечивающий формирование тонких пленок с требуемыми функциональными характеристиками.Investigation of the effect of residual gas pressure on the roughness of thin aluminum films formed by magnetron sputtering
D.E. Shashin, G.A. Pimenov
Keywords: MAGNETRON SPUTTERING, THIN ALUMINIUM FILMS, ROUGHNESS
