Влияние материала подложки на фотокаталитические свойства тонких плёнок диоксида титана
Шашин Д.Е., Сушенцов Н.И., Будкина И.М.
Ключевые слова: фотокаталитические покрытия, тонкие плёнки, диоксид титана
Аннотация
В настоящее время возрос интерес к металлическим тонким плёнкам, в частности, для изготовления приборов очистки воздуха на основе фотокатализа. Отличные фотокаталитические свойства демонстрирует диоксид титана TiO2, что делает его одним из самых востребованных материалов в области создания самоочищающихся покрытий.Существует необходимость определения оптимальных режимов формирования тонких плёнок TiO2 и разработки техпроцесса напыления данных покрытий методом реактивного магнетронного распыления (РМР) с целью получения наиболее ярко выраженных фотокаталитических свойств.
В настоящее время проводятся опыты по анализу и улучшению фотокаталитических свойств плёнок TiO2. Было так же проведено исследование влияния материала подложки на фотокаталитические свойства тонких плёнок диоксида титана. Исследования проводились для плёнок, сформированных на подложках из ситалла, кремния, нержавеющей стали и стекла. Полученные зависимости сравнивались между собой и с необлучёнными ультрафиолетом плёнками для выявления фотокаталитических свойств, определения их численных показателей и выбора материала подложки, обеспечивающего наилучшие фотокаталитические свойств диоксида титана.
Результаты экспериментов послужат для разработки техпроцесса получения данных покрытий с высокими фотокаталитическими свойствами на установке РМР.
The effect of the substrate material on the photocata-lytic properties of titanium dioxide thin films
D.E. Shashin, N.I.Sushentsov, I.M. Budkina
Keywords: photocatalytic coatings, thin films, titanium dioxide
