Изучение влияния технологических условий формирования алмазоподобных углеродосодержащих покрытий методом импульсного сильноточного магнетронного распыления на их структуру и свойства
Колесник Л.Л., Мьо Ти Ха
Ключевые слова: алмазоподобные покрытия, импульсная сильноточная магнетронная распыления, высокий и сверхвысокий вакуум, внутренние напряжения, морфология поверхности
Аннотация
Рассмотрены результаты отработки технологии нанесения пленок углерода на образцы алюмооксидной керамики. Приведены результаты измерения характеристик пленок, полученных образцов по мере увеличения времени обработки.Study of the effect of technological conditions for the formation of diamond-like carbon coatings by the method of high-power impulse magnetron sputtering on their structure and properties
Kolesnik L.L., Myo Thi Ha
Keywords: diamond-like coating, high-power impulse magnetron sputtering, high and ultra-high vacuum, internal stresses, surface morphology
