Распределение элементов по толщине в плёнках YBA2CU3O7, осаждённые с использованием импульсного эксимерного лазера
Егоров В.К, Егоров Е.В., Ильин А.И., Иванов А.А.
Ключевые слова: элементный анализ, рор, сэм, эпитаксиальная пленка, втсп
Аннотация
В данной работе проведено сравнение пленок YBa2Cu3O7-, полученных в вакуумной камере импульсным лазерным осаждением на монокристаллические подложки SrTiO3 (100) при давлении кислорода 0.24 торр с фильтрацией эрозионного факела и без него. Исследования проводились методами электронной сканирующей микроскопии и резерфордовского обратного рассеяния. Как показала аппроксимация, пленки могут рассматриваться как трехслойная макроструктура. Однако, проведенная электронная микроскопия поверхности полученных пленок, продемонстрировала, что они не являются сплошным монолитом. Обсуждаются причины роста таких пленок. Результаты аппроксимации спектров обратного резерфордовского рассеяния ионов гелия для полученных покрытий позволили оценить степень пустотелости поверхностного слоя, составить представление о значении критической толщины монолитного эпитаксиального слоя с составом, близким к оптимальному содержанию базовых структурных элементов и получить оценочные сведения о толщине и стехиометрии переходного слоя плёнка/подложка.Работа была выполнена в рамках государственного задания № 075-01304-23-00.
Element distribution by depth in YBA2CU3O7- films deposited using a pulsed excimer laser
Egorov V.K., Egorov E.V., A.I. Il’in, A.A. Ivanov
Keywords: elemental analysis, rbs, sem, epitaxial film, htsc
