Генерация и управление энергией ионов в комбинированном режиме распыления графита
Захаров А.Н., Оскирко В.О., Павлов А.П., Семенов В.А., Соловьев А.А., Ажгихин М.И.
Ключевые слова: источник ионов, ионы углерода, углеродные пленки
Аннотация
Представлена электрическая схема питания магнетронной распылительной системы, позволяющая реализовать импульсный комбинированный режим распыления графита при давлении в вакуумной камере 5*10-2 Па. Формирование импульсов высокой мощности происходит при достижении на разрядном конденсаторе схемы питания уровня напряжения 600-700 В. Затем формируется сильноточный магнетронный разряд, который при величине токе ~ 400-500 А переходит в дуговую стадию с током разряда до 3 кА. После чего формируется импульс положительной полярности. В паузах между импульсами высокой мощности в вакуумной камере горит слаботочный магнетронный разряд. Электрическая дуга является источником ионов углерода, энергия которых определяется амплитудой положительного импульса. Продемонстрирована возможность регулирования частоты, длительности и амплитуды импульсов дугового разряда путём изменения ёмкости разрядного конденсатора.Generation and control of ion energy in the combined graphite sputtering mode
Zakharov A.N., Oskirko V.O., Pavlov A.P., Semenov V.A., Solovyev A.A., M.I. Azhgikhin
Keywords: ion source, carbon ions, carbon films
