Результаты расчета изменения давления в объеме миниатюрного эвп безштенгельного типа в процессе его вакуумирования
Бушин С.А., Давыдов С.Г., Ревазов В.О. , Якубов Р.Х.
Ключевые слова: газовая нагрузка, откачка, проводимость, электровакуумный прибор
Аннотация
В работе представлены результаты теоретического исследования зависимости изменения давления остаточного газа в объеме миниатюрного электровакуумного прибора безштенгельного типа (ЭВП) при его вакуумировании с учетом скорости откачки и объемного расхода газа через суммарное сечение щелевого канала прибора.The results of calculating the change in pressure in the volume of a miniature evd of a pinless type in the process of its evacuation
Bushin S.А., Davydov S.G. , Revazov V.O. , Yakubov R.Kh.
Keywords: gas load, pumping, conductivity, electrovacuum device
