Электронно-лучевая обработка отверстий в сырой LTCC

Ключевые слова: электронный луч, сырая LTCC, обработка, отверс

Аннотация

В статье показаны использование и преимущества низкотемпературной совместно обжигаемой керамики (LTCC). Рассмотрены традиционные методы ее обработки и их недостатки. Представлены результаты экспериментов по обработке (сверлению) отверстий в LTCC электронным лучом на установке электронно-лучевой обработки «ЛУЧ». Механизм электронно-лучевая обработка сырой LTCC рассказан.

Keywords: electron beam, green LTCC, processing, holes

Abstract

The article shows the uses and benefits of low temperature co-fired ceramic (LTCC). Traditional methods of its processing and their shortcomings are considered. The results of experiments on the processing (drilling) of holes in LTCC with an electron beam on the electron beam processing equipment "LUCH" are presented. The mechanism of electron beam processing of green LTCC is described.