Моделирование ионного распыления для технологии металлопористых катодов с покрытием металлами платиновой группы

Ключевые слова: металлопористый термокатод, покрытие осмием иридием, ионы азота, ионное распыление, коэффициент ионного распыления

Аннотация

Рассчитаны коэффициенты распыления Os, Ir, W, Al и их смесей ионами N+, средняя энергия распылённых атомов металлов, коэффициенты отражения и глубины внедрения ионов для использования при проектировании распылительных систем, применяемых в технологии металлопористых термокатодов.

Keywords: dispenser thermionic cathode, cathode with osmium and iridium coating, nitrogen ions, ion sputtering, ion sputtering coefficient.

Abstract

The sputtering coefficients of Os, Ir, W, Al and their mixtures with N + ions, the average energy of atomized metal atoms, the reflection coefficients and ion penetration coefficients for use in the design of atomization systems used in the technology of metal-porous thermal cathodes are calculated