Магнетронно-лазерное формирование пленочных структур

Ключевые слова: комбинированная магнетронно-лазерная технология, пленки, наночастицы, наночастицы в матрице

Аннотация

Представлен краткий анализ применения комбинированной магнетронно-лазерной технологии для формирования пленочных покрытий на основе углерода, износостойких, светопоглощающих, биосовместимых и смазочных покрытий. Рассматривается методика формирования покрытий типа наночастицы Ag в диэлектрической матрице. Представлены    результаты авторских работ по нанесению    таких покрытий магнетронно-лазерной    технологией. Обсуждаются особенности образования комбинированного потока, структура и оптические характеристики покрытий.

Keywords: hybrid magnetron-laser technology, films, nanoparticles, nanoparticles in matrix.

Abstract

A brief analysis of the use of hybrid magnetron-laser technology for the deposition of carbon-based film coatings, wear-resistant, light-absorbing, biocompatible and lubricant coatings has been presented. The method of forming coatings “Ag nanoparticles in a dielectric matrix” has been considered. The results of the author's work on the deposition of such coatings by magnetron-laser technology are presented. The features of the formation of a combined flow, the effect of erosion laser plasma on the characteristics of a magnetron discharge, what results in the formation of a pulsed arc discharge, have been discussed. The effect of laser pulsefrequency on the structural properties of coatings (density and sizes of synthesized nanoparticles Ag in TiO2 matrix) and, in turn, their optical absorption via surface plasmon resonance are presented.