Исследования процессов зарождения и роста функциональных слоев на основе zno при физических и газотранспортных методах синтеза
Абдуев А.Х., Ахмедов А.К., Асваров А.Ш., Беляев В.В., Борисова А.С., Фляжникова Л.С., Муслимов А.Э., Финагина И.А., Часилуиса П.С.С.
Ключевые слова: оксид цинка, зарождение, коалесценция, столбчатая структура, межзеренная граница, спекание, мишень
Аннотация
Исследованы и проанализированы процессы формирования функциональных слоев на основе ZnO в качестве компонентов систем отображения информации, солнечных преобразователей и иных приложений. Рассмотрены перспективы их практического использования в устройствах прозрачной (оксидной) электроники. Процессы формирования слоев методами магнетронного распыления рассмотрены в комплексе с характеристиками, составом, стехиометрией распыляемых керамических мишеней.Study of the nucleation and growth processes of zno-based functional layers during pvd and cvd methods
Abduev A.Kh., Akhmedov A.K., Asvarov A. Sh., V.V.Belyaev, A.S.Borisova, L.S.Flyazhnikova, A.E. Muslimov, I.A.Finagina, P.S.S.Chasiluisa
Keywords: ZnO, nucleation, coalescence, columnar structure, grain boundary, sintering, target.
