Модернизация технологической оснастки устновки вакуумного нанесения покрытий

Ключевые слова: термическое испарение, тонкие пленки, островковые нанострутуры, вакуум, источник термического испарения, испаритель.

Аннотация

Разработана конструкция модуля термического испарения. Рассмотрены варианты реализации модуля в камере, испарителя, материалы токовводов и испарителя. Проведен расчет сопротивления испарителя.

Keywords: thermal evaporation, thin films, island nanostructures, vacuum, thermal evaporation source, evaporator

Abstract

The design of the thermal evaporation module has been developed. Implementation options for the module in the chamber, the evaporator, the materials of the current leads and the evaporator are considered. The evaporator resistance is calculated.