Ионный обрабатывающий центр для изготовления плёночных элементов наноградиентной оптики и метаматериалов

Ключевые слова:

Аннотация

Представлена разработка автоматизированного ионно-плазменного вакуумного оборудования для изготовления плёночных элементов наноградиентной оптики и метаматериалов методом физико-химического синтеза покрытий из оксидов и нитридов. Оборудование выполнено в виде обрабатывающего центра на базе магнетронных ионных распылителей твёрдых металлических мишеней и ВЧ индукционного активатора реакционных газов. Электрическое и газовое питание центра осуществляется в импульсном среднечастотном режиме. Функционирование центра организовано на принципах цифровых технологий.

Keywords:

Abstract

The development of automatic ion-plasma vacuum facilities for manufacturing film-like elements of nanogradient optics and metamaterials by physical-chemical synthesis of oxide and nitride coatings are presented. The facilities are fulfilled as a processing center on the base of magnetron ion sputters and RF induction activator of reactive gases. Electrical and gas supplying is in mid-frequency pulsed mode. The center function is managed on the digital technology principles.