Исследование процесса формирования плёнок, полученных в матричном режиме с помощью НЧ-плазматрона атмосферного давления

Ключевые слова:

Аннотация

В настоящей работе представлены результаты исследования формирования углеродных покрытий, полученных при помощи низкотемпературного низкочастотного плазматрона при атмосферном давлении в матричном режиме нанесения. Произведена модернизация установки для работы в матричном режиме. Показана возможность формирования углеродных покрытий в матричном режиме. Определена толщина полученных покрытий, а так же влияние плазмообразующего газа на скорость роста покрытия.

Keywords:

Abstract

This paper is devoted to investigation of formation of carbon coatings produced by a low temperature and low frequency plasmatron at atmospheric pressure in matrix mode of deposition. The installation was upgraded to work in matrix mode. The possibility of formation of carbon coatings in the matrix mode is shown. The thickness of obtained coatings is determined, as well as the effect of the plasma-forming gas on the growth rate of the coating