ПАВ-устройства на термокомпенсированных пластинах. Проблемы и перспективы
Багдасарян А.С., Синицына Т.В., Дорофеева С.С.
Ключевые слова:
Аннотация
Данная работа посвящена исследованию термокомпенсированных многослойных структур LiTaO3/кремний с целью их применения для реализации устройств на поверхностных акустических волнах.SAW devices on thermo compensated plates. Problems and prospects
A.S.Bagdasarian, T.V. Sinitsina, S.S. Dorofeeva
Keywords:
