Системы питания высокомощных импульсных магнетронов распыления HIPIMS

Ключевые слова:

Аннотация

Предприятие ООО «ПЛАЗМА-ТЕХ» продолжает разрабатывать и изготавливать системы питания для одиночных и дуальных высокомощных импульсных магнетронов распыления. Могут быть сконфигурированы различные варианты систем питания с широким диапазоном выходных параметров. Предложена схема построения систем HIPIMS большой мощности матричного типа.

Keywords:

Abstract

The company PLAZMA-TECH LLC continues to develop and manufacture power systems for single and dual highpower pulsed sputtering magnetrons. Different versions of power systems with a wide range of output parameters can be configured. The scheme to construct high-power HIPIMS systems of the matrix type is proposed.