Исследование оптических характеристик тонких пленок диоксида титана, полученных методом магнетронного распыления
Шашин Д.Е., Сушенцов Н.И., Степанов С.А.
Ключевые слова:
Аннотация
В данной статье исследованы оптические свойства тонких пленок диоксида титанаResearch of influence of technological parameters of magnetron sputtering on optical properties of titanium dioxide
D.E. Shashin, N.I.Sushentsov, S.A. Stepanov
Keywords:
