Перспективы совместной разработки вакуумного оборудования МГТУ им. Н.Э. Баумана и АО НПО «Спецэлектромеханика»
Панфилов Ю.В., Колесник Л.Л., Бычков С.П., Сарапулов С.А.
Ключевые слова:
Аннотация
Представлены модульная вакуумно-термическая и малогабаритная вакуумная напылительная установки с блоками питания, разработанные в МГТУ им. Н.Э. Баумана и изготовленные в АО НПО «Спецэлектромеханика»Prospects of BMSTU and SEMGROUP common research and development of vacuum equipment
Panfilov U.V., Kolesnik L.L., Bychkov S.P. , S.A. Sarapulov
Keywords:
