Исследование состава и механических характеристик углеродных и фторуглеродных покрытий, сформированных ионно-плазменными методами при атмосферном давлении

Ключевые слова:

Аннотация

В настоящей работе представлены результаты исследований параметров углеродных и фторуглеродных покрытий, полученных при помощи низкотемпературного низкочастотного плазмотрона при атмосферном давлении. Исследованы основные зависимости формирования
углеродных и фторуглеродных покрытий. Определен химический состав полученных покрытий при помощи рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии исследована нанотвёрдость углеродных покрытий методом индентирования. Показана возможность локального формирования покрытий с заданными параметрами.

Keywords:

Abstract

The study of carbon and fluorocarbon coatings produced by low temperature and low frequency plasma arc at atmospheric pressure is made. The basic relations of carbon and fluorocarbon coatings forming are studied. The chemical composition of obtained coatings is revealed by X-ray photoelectron spectroscopy. The nano-hardness of carbon coatings is considered. The possibility of local forming of coatings with controlled parameters is shown.