Алмазоподобные углеродные пленки в автоэмиссионных катодах

Ключевые слова:

Аннотация

Рассмотрены условия формирования алмазоподобных углеродных пленок (АУП) методами тонкопленочной технологии. Изучено строение АУП электронной микроскопией, спектроскопией комбинационного рассеяния света и рентгеновской дифрактометрией. Исследованы эмиссионные свойства АУП.

Keywords:

Abstract

The conditions of diamond-like carbon (DLC) films formation by thin-film technology are considered. The structure of DLC films is studied with electron microscopy, Raman spectroscopy and X-ray diffraction methods. The emission properties of DLC films are investigated.