Решения МГТУ им. Н.Э. Баумана и компании НПП «УВН» для тонкопленочной технологии оптической и электронной промышленности
Духопельников Д.В., Рязанов В.А., Воробьев Е.В. , Кириллов Д.В., Ивахненко С.Г., Булычев В.С., Афонин О.И.
Ключевые слова:
Аннотация
На российском рынке наблюдается дефицит отечественных установок для нанесения тонкопленочных покрытий для оптической и микроэлектронной промышленности. Для восполнения этого дефицита создано Научно-производственное предприятие «УВН». Компания НПП «УВН» совместно с МГТУ им. Н.Э. Баумана разрабатывает и производит весь спектр установок нанесения покрытий для оптической (установки серии Гамма), электронной (установки серии Бета) и машиностроительной (установки серии Сигма) отраслей, а также производит модернизацию устаревшего оборудования.The solutions of BMSTU and Science and Production company “UVN” for the optical and electronic industry.
D.V. Dukhopelnikov, V.A.Riazanov, E.V.Vorobev, D.V. Kirillov, S.G. Ivakhnenko, V.S.Bulychev, O.I. Afonin
Keywords: