Исследование свойств медных пленок, полученных методом ионного распыления в магнетронных системах в парах мишени

Ключевые слова:

Аннотация

В статье исследованы характеристики поверхности пленок меди, осажденных методом ионного распыления в магнетронных системах в парах мишени. Выявлены и описаны различные дефекты пленок и проведен рентгенофлуоресцентный анализповерхности.

Keywords:

Abstract

The properties of copper films deposited by magnetron sputtering in target vapors were studied. Different types of the defects in the films were identified and described. The x-ray fluorescence analysis of the film surface was carried out.