Разработка технологии изготовления тонкопленочных покрытий для абсорберов солнечной энергии

Ключевые слова:

Аннотация

Для разработки новых покрытий и успешной отработки технологии нанесения тонких пленок важно иметь оптимальную конструкцию вакуумной камеры и современную оснастку. В данной статье представлено описание установки МИР – 2М и рассмотрено применение
тонких пленок оксинитрида титана в качестве абсорбера солнечной энергии, а также представлены результаты экспериментов по нанесению селективных покрытий.

Keywords:

Abstract

For the optimum design of the vacuum chamber and modern equipment it is important to develop new coatings and successfully develop the technology of thin films deposition. This article describes how to install the MIR – 2M; the use of thin films of oxynitride titanium as the absorber of solar energy is considered as well as the results of the experiments for selective coating.